下面的表格列出了推薦的MIDAS
傳感器盒的校準用氣體或顛簸測試氣體：
在開始進行校準和顛簸測試之前請向您的1230SHOP服務代表咨詢經過批準的方法及材料。
氣體名稱 化學式 范圍 傳感器盒部件編號
校準氣體 推薦的顛簸測試氣
體
氨 NH3 0-100 ppm MIDAS-S-NH3 氨 氨
砷化三氫 AsH3 0-0.2 ppm MI DAS-S-ASH 砷化三氫 磷化氫
三氯化硼 BCl3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
三氟化硼 BF3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
溴 Br2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
二氧化碳 CO2 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2 二氧化碳 二氧化碳
一氧化碳 CO 0-100 ppm MIDAS-S-COX 一氧化碳 一氧化碳
氯 Cl2 0-2.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
二氧化氯 ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
三氟化氯 ClF3 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氫 氯
硼乙烷 B2 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD 硼乙烷 磷化氫
二氯甲硅烷 H2SiCl2 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
乙硅烷 Si2H6 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氫
氟 F2 0-4.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
鍺烷 GeH4 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD Diborane Phosphine
氫 (% LEL) H2 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫
氫(ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X 氫 氫
溴化氫 HBr 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
氯化氫 HCl 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
氰化氫 HCN 0-20 ppm MIDAS-S-HCN 氰化氫 一氧化碳
氟化氫 HF 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
硒化氫 H2Se 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE 硅烷 硫化氫
硫化氫 H2S 0-40 ppm MIDAS-S-H2S 硫化氫 硫化氫
甲烷(% LEL) CH4 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫
二氧化氮 NO2 0-12 ppm MIDAS-S-NO2 二氧化氮 二氧化氮
一氧化氮 NO 0-100 ppm MIDAS-S-NOX 一氧化氮 一氧化氮
三氟化氮 NF3 0-40 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
氧氣重組&不足 O2 0-25% vol MIDAS-S-O2X 氧氣 空氣
臭氧 O3 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X 臭氧 氯氣
磷化氫 PH3 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3 磷化氫 磷化氫
氯氧化磷 POCl3 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC 氯化氫 氯
硅烷 SiH4 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氫
硅烷(低級別) SiH4 0-2.0 ppm MIDAS-S-SHL 硅烷 硫化氫
二氧化硫 SO2 0-8.0 ppm MIDAS-S-SO2 二氧化硫 二氧化硫
四氟化硫 SF4 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氫 氯
正硅酸乙酯 TEOS 0-40 ppm MIDAS-S-TEO TEOS 一氧化碳
六氟化鎢 WF6 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
目標氣體 化學式 傳感器盒部件編號 范圍 (ppm) 推薦顛簸測試氣體濃度
(ppm)
流率
(cc/min)
最大時間
氨 NH3 MIDAS-S-NH3 100 氨 50 500 120
砷化三氫 AsH3 MIDAS-S-ASH 0.2 磷化氫 0.5 500 120
三氯化硼 BCl3 MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
三氟化硼 BF3 MIDAS-S-HFX 8 氯 5 500 120
溴 Br2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
二氧化碳 CO2 MIDAS-S-CO2 2% v 二氧化碳 2% v 500 120
一氧化碳 CO MIDAS-S-COX 100 一氧化碳 100 500 120
氯 Cl2 MIDAS-S-HAL 2 氯 2 500 120
二氧化氯 ClO2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
三氟化氯 ClF3 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 低 500 120
硼乙烷 B2H6 MIDAS-S-HYD 0.4 磷化氫 0.5 500 120
二氯甲硅烷 SH2Cl2 MIDAS-S-HCl 10 氯 5 500 120
乙硅烷 Si2 MIDAS-S-SHX 20 硫化氫 < 25 500 120
氟 F2 MIDAS-S-HAL 4 氯 5 500 120
鍺烷 GeH4 MIDAS-S-HYD 0.8 磷化氫 0.5 500 120
氫 H2(ppm) MIDAS-S-H2X 1,000 氫 1000 500 120
氫 H2(%LEL) MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
在安裝MIDAS氣體探測器時，下面是一些應考慮的因素：
1. 將探測器安裝在適于其面積和重量的水平且堅固的表面上。
2. 使用提供的鉆孔模板鉆孔用于固定接頭。
3. 使用適于所選表面安裝的固定接頭。
4. 確保固定接頭的頭圍不會妨礙終端PCB。
5. 考慮電線/電纜的重要和其安裝應力。
6. 定位該探測器以便可以輕易訪問。
7. 定位該探測器以便其處于可清晰查看顯示器的合適的高度（正常情況下到眼睛的高度）。
8. 考慮移除探測器機殼和鎖定/解鎖傳感器盒鎖箍所需的空間。
9. 考慮樣品進口和排氣管道（遠程監測）和進口過濾器（本地監測）所需的空間。
10. 考慮電纜或電線接入所需的空間。
5.2 機械安裝
下列步驟和圖示講述了如何將安裝托架總成從主機架上分離并將其安裝到垂直平面上。
1. 旋開位于前面板上的翼形螺釘。
2. 將機殼向前推直至脫離主機架，以此來移除機殼。
3. 旋開位于機架底部前側的固定螺釘。
4. 使用一只手固定住安裝托架總成，使用另一支手小心向前推主機架，直到從安裝托架總成上斷連為止。
5. 使用提供的鉆孔模板鉆兩個垂直分開的58.50 mm 的孔，用于2 x 圓頭M4 固定螺釘。
6. 部分地將固定接頭旋入安裝面。
7. 將安裝托架總成置于螺釘上方，以便它們通過該安裝孔，然后滑下定位在槽中。
8. 旋緊螺釘，固定安裝托架總成。
安裝傳感器盒
MIDAS 傳感器盒是單獨供應的，需要安裝到探測器的主機架上。 下面的步驟和圖示詳細描述了首次安
裝傳感器盒的程序。執行該程序時，應關閉電源，移除探測器機殼。
1. 拆包，取出傳感器盒
2. 檢查傳感器盒的零部件編號和型號是否正確
3. 通過日期檢查觸發
4. 將位于傳感器頂端的銷釘和傳感器暗盒腔中的插座對齊。
5. 小心將傳感器盒推入傳感器暗盒腔直到完全吻合
6. 使用傳感器盒的任何一邊的定位片將傳感器盒鎖定到位，從而將傳感器盒鎖定到主機架上
7. 將位于終端模塊上的電源開關切換到“開”位置
8. 將任何一邊的槽和安裝托架總成上的定位片對其，重裝探測器機殼。
9. 水平推機殼，直至完全吻合
10. 旋緊位于前面板上的翼形螺釘
圖20. 安裝傳感器盒
如何安裝機殼
機架
旋緊
槽
傳感器盒 已安裝的盒
定位片
6 探測器啟動程序
警告
執行任何作業前， 確保遵守本地和現場程序。確保相關的控制面板處于禁止狀態，以便防止錯誤報警。
認真遵守下列程序，正確培訓過的人員才能執行該程序。
1. 確保探測器按照第5.6 和5.7 部分正確布線。
2. 確保安裝正確的傳感器盒。（如果傳感器盒未以室溫存儲，則首先拿出一個小時進行（溫度）平衡）。
3. 確保安裝托架總成上的開/關開關處于“開”位置。
4. 為系統供電
5. 啟動程序之后， 探測器將顯示正常的操作模式，如第7 部分所示。
6. 如果使用一個多氣體傳感器盒，請參考第8.2.2 部分，確保選擇正確的氣體標識碼。
7. 將傳感器穩定后，使用下表以確定最大的傳感器盒預熱時間。
找出故障并診斷
總體故障指導及具體故障代碼表
表20. 故障代碼描述
故障
代碼
描述 狀況 修復
m10 超出范圍 已監測到一個巨大的氣體濃度。
MIDAS需要單獨確認氣體危害
已經消失。
為MIDAS提供已知的干凈氣體解除本故障
m11 校準很快過期 用戶指定的校準間距消失了。 校準零點與間距，加長間距校準時間
m1 2 傳感器很快過期 傳感器很舊，很快就要過期了 將傳感器更換為新品
m1 3 流量低 MIDAS不能再調節流量 檢查過濾器和泵
m1 4 存在干擾 有干擾使MIDAS檢測氣體的能
力降低
檢查設備
m1 5 溫度接近極限 溫度在極限的2 攝氏度以內 檢查安裝環境
m16 基線的故障 傳感器基線飄移 檢查背景的氣體濃度、溫度及濕度波動。校準零點，更換
盒
m1 7 禁止時效 發送器長時間處于禁止模式 繼續監控或增加時效數值
F40 傳感器過量. 傳感器廠時間曝露在高氣體濃度
中
更換傳感器
F41 基線的故障. 傳感器基線飄移 檢查背景的氣體濃度、溫度及濕度波動。校準零點，更換
傳感器
F42 校準過期 上次校準時間距現在時間過長 將盒更換或校準
F43 傳感器過期 傳感器的時間太長 更換傳感器
F44 電池問題 傳感器沒有通過Reflex 檢查 更換傳感器
F45 穩定化超時 盒的穩定化故障 I.如果溫度或濕度的振動仍然存在，對盒進行預校準；檢查
背景氣體濃度；更換盒
F46 盒的模擬故障 各種原因 更換傳感器
F47 傳感器的存儲器無效 總和檢查錯誤 更換傳感器
F48 無傳感器 無傳播 重設傳感器；更換傳感器
F49 傳感器的類型不正確 在引導后發現暗盒腔的類型不正
確
更換傳感器
F80 超出溫度界線 溫度在界線之外 檢查安裝環境
F81 流量故障 流量超過15 秒小于額定流量的
70%
檢查過濾器；檢查是否有管打結， 更換泵
F82 額外的電噪音 內部電子設備重復發出噪音 檢查MIDAS底盤的接地；檢查電纜護套的終端；將
MIDAS重新放置在離噪音源更遠的地點；給電纜加上鐵氧
體電感
F83 熱解器故障 熱解器不能加熱 檢查熱解器的電源連接；更換加熱器；更換熱解器
F84 其他發送器故障 發送器有缺陷 維修或更換MIDAS.
MIDAS插入式傳感器盒（標準保修期）
MIDAS氣體發送器的插入式傳感器盒是單獨出售的，帶有一年（12 個月）的標準保修期。關于傳感器盒
的延期保修，參考第16.5 部分。一些傳感器盒可以設置成測試一種以上的目標氣體。氣體、范圍以及帶
有標準質保的可用傳感器盒零部件編號已列表如下：
描述 范圍 零部件編號
氨 0-100 ppm MIDAS-S-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-S-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-S-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-S-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-S-HAL
鍺烷 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD
氫* 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X
氫 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氯化氫 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-S-HCN
氟化氫 0-1 2 ppm MIDAS-S-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE
硫化氫 0-40 ppm MIDAS-S-H2S
甲烷 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-S-NOX
二氧化氮 0-1 2 ppm MIDAS-S-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-S-HFX
氧氣 0-25% v MIDAS-S-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
硅烷，低級別 0-2 ppm MIDAS-S-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-S-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-S-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-S-HFX
1 MIDAS 探測器并未經過ETL 批準而用于在高于25% LEL 的分類區域進行監測或取樣。
MIDAS插入式傳感器盒（延長保修期）
MIDAS氣體發送器的插入式傳感器盒是單獨出售的，帶有二年（24 個月）的延長保修期。一些傳感器盒
可以設置成測試一種以上的目標氣體。氣體、范圍以及帶有標準質保的可用傳感器盒零部件編號已列表如
下：
描述 范圍 零部件編號
氨 0-100 ppm MIDAS-E-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-E-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-E-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-E-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-E-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-E-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-E-HAL
鍺烷 0-0.8 ppm MIDAS-E-HYD
氫 0-1000 ppm MIDAS-E-H2X
氫 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氯化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-E-HCN
氟化氫 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-E-HSE
硫化氫 0-40 ppm MIDAS-E-H2S
甲烷 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-E-NOX
二氧化氮 0-12 ppm MIDAS-E-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-E-HFX
氧氣 0-25% v MIDAS-E-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-E-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-E-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
硅烷 低級別 0-2 ppm MIDAS-E-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-E-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-E-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
1 MIDAS 探測器并未經過ETL 批準而用于在高于25% LEL 的分類區域進行監測或取樣。